EV集团和肖特携手证明300-MM光刻纳米压印技术在玻
发布时间:2020-05-12 22:02

  EV集团和肖特联袂协作,声明300-MM光刻/纳米压印本事正在概略积加强实际/羼杂实际玻璃缔制中已停当

  联结劳动将正在EVG的NILPhotonics®才气中央发展,这是一个盛开式的光刻/纳米压印(NIL)本事改进孵化器,同时也是环球独一可及的300-mm光刻/纳米压印本事线日,奥地利,圣弗洛里安——微机电体例(MEMS)、纳米本事和半导体商场晶圆键合与光刻修造领先供应商EV集团(EVG)今日发布,与特种玻璃和微晶玻璃范畴的天下领先本事集团肖特联袂协作,声明300-mm(12英寸)光刻/纳米压印(NIL)本事鄙人一代加强实际/羼杂实际(AR/MR)头戴显示修造的波导/光导缔制中应用的高折射率(HRI)玻璃晶圆的概略积图案成形已停当。

  此次协作涉及EVG的专有SmartNIL®工艺和SCHOTT RealView™高折射率玻璃晶圆,将正在EVG位于奥地利总部的NILPhotonics®才气中央举办。肖特将于9月4日至7日正在深圳会展中央进行的中邦邦际光电展览会上显现一款采用EVG SmartNIL本事举办图案成形的300-mm SCHOTT RealView™玻璃晶圆。

  300-mm和200-mm SCHOTT RealView™玻璃基板,安装正在运用SmartNIL® UV-NIL本事的EVG® HERCULES® NIL体例

  肖特加强实际负担人Ruediger Sprengard博士呈现:“将高折射率玻璃晶圆的缔制扩展到300-mm,关于竣工咱们客户餍足当今和异日领先AR/MR修造不时伸长的商场需求所需的周围经济产量来说至合首要。通过联袂协作,EVG和肖特彰显了当今300-mm高折射率玻璃缔制的修造和供应链的停当性。”

  正在此之前,应用光刻/纳米压印本事对具有光子学运用机合的玻璃基板举办图案成形仅限于200-mm基板。向300-mm晶圆加工的迁徙是将AR/MR头戴显示修造推向众人消费和工业商场迈出的首要一步。然而,正在这些较大的基板上仍旧高基板质地和工艺匀称性是很难左右的,须要进步的主动化和工艺左右才气。EVG的SmartNIL本事得益于众年的琢磨、斥地和实践,旨正在餍足纳米图案成形的需求,始末了现场验证,不妨轻松从晶圆级样品尺寸扩展到大面积基板。旧年六月,EVG推出了HERCULES® NIL 300 mm,将SmartNIL引入300-mm缔制,餍足种种修造和运用的坐褥需求,个中搜罗AR、MR和虚拟实际(VR)头戴显示修造的光学器件以及3D传感器、生物医疗修造、纳米光子学和等离子电子学。

  集成到 SmartNIL® UV-NIL体例的全模块化EVG® HERCULES® NIL 300 mm

  EV集团企业本事斥地和学问产权总监Markus Wimplinger呈现:“EVG的NILPhotonics才气中央建立于2014年,为光刻/纳米压印本事供应链中的各个协作伙伴和公司与EVG协作供给了一个盛开式的改进孵化器,从而缩短改进光子器件和运用的斥地周期和上市韶华。咱们很乐意与肖特公司协作,声明EVG光刻/纳米压印本事处分计划的代价,不单有助于新本事和新工艺的斥地,还不妨加快新本事和新工艺正在众人商场中的采用。咱们正正在联袂肖特发展的劳动,彰显了光刻/纳米压印本事修造和工艺的成熟性,为种种令人兴奋的基于光子学的新产物和新运用的300-mm缔制奠定了根底。”

  SCHOTT RealView™高折射率玻璃晶圆是领先AR/MR修造的症结组件,一经竣工了批量坐褥。产物组合供给了高达1.9的折射率,增援深度陶醉的AR/MR运用,视野更广,高达65度。正在与加强实际硬件缔制商举办众年研发之后,肖特正在2018年推出了第一代SCHOTT RealView™。这款高端产物正在上市一年后便荣获了享有盛誉的2019年SID显示行业奖(SID Display Industry Award 2019)。

  肖特是特种玻璃、微晶玻璃和相干高科技资料范畴的领先邦际本事集团。公司积聚了突出130年的阅历,是稠密行业的改进协作伙伴,个中搜罗家用电器、医药、电子、光学、性命科学、汽车和航空业。肖特正在环球34个邦度和地域设有坐褥基地和出卖管事处。公司目前具有员工突出15500名,2017/2018财年的出卖额为20.8亿欧元。总部位于德邦美因茨的母公司SCHOTT AG由卡尔蔡司基金会(Carl Zeiss Foundation)全资具有。卡尔蔡司基金会是德邦史册最好久的私立基金会之一,同时也是德邦周围最大的科学激动基金会之一。行为一家基金公司,肖特对其员工,社会和处境负有特地负担。

  EV集团(EVG)是为半导体、微机电体例(MEMS)、化合物半导体、功率器件和纳米本事器件缔制供给修造与工艺处分计划的领先供应商。其重要产物搜罗:晶圆键合、薄晶圆解决、光刻/纳米压印(NIL)与计量修造,以及涂胶机、洗濯机和检测体例。EV集团建立于1980年,可为广博环球的稠密客户和协作伙伴汇集供给种种办事与增援。

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